纳米二氧化硅抛光液广泛用于多种材料纳米级的高平坦化抛光。如：不锈钢、铝合金、化合物晶体、精密光学器件等的表面精密抛光加工。纳米二氧化硅抛光液的主要成分是硅溶胶，还添加有pH调节剂、表面活性剂、氧化剂、分散剂等。
各组分的主要作用如下①纳米二氧化硅胶粒：机械摩擦，吸附腐蚀产物；
②pH调节剂：在抛光中进行腐蚀、和某些成分形成络合物而将其除去；③氧化剂：加快腐蚀速率，提高去除率；④分散剂：分散不溶性颗粒，防止聚集沉淀。